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采用色譜原理搭配多種高性能檢測器，監(jiān)測高純氣及超純氣中的微（痕）量雜質。分析儀本體防爆，采用多柱箱多流路并行設計，功能模塊化，可實現(xiàn)各種復雜的應用。分析儀管路全惰性化及獨特的防反滲技術，提高檢測精度及重復性，檢出限可達到ppb級。